光刻机论文

掩模台机械系统设计及仿真
论文摘要光刻机是集成电路产业的基础设备,光刻机的线宽决定着集成电路的特征尺寸。光刻机研制水平的提高能够带动整个集成电路产业界的技术升级,能够有效地促进国家经济的发展和提高国家高...
光刻机粗精耦合及同步控制算法研究
论文摘要光刻技术是大规模集成电路制造技术和微光学、微机械技术的先导和基础;它决定了集成电路的集成度;而光刻机粗精耦合控制系统是实现精确定位的基础。本文针对粗精组合结构的精密工作...
精密工件台运动参数校准方法研究
论文摘要光刻机是集成电路制造的关键设备,工件台系统是光刻机的核心系统之一,其运动精度直接影响光刻机的分辨率和套刻精度,而工件台的运动精度受到工件台水平向平面电机和直线电机的电机...