光热微驱动机构论文

微尺度光热膨胀机制和光热微驱动新方法研究
论文摘要微纳米技术是近年来发展起来的一门新型的交叉学科,微机电系统（MEMS）技术是其中的一个重要分支。微驱动机构是一种能够进行微纳米级驱动及操作的MEMS器件,根据实现方法的...