光栅读数头论文

光栅莫尔条纹干涉计量及其应用研究
论文摘要目前,以莫尔条纹技术为基础的光栅线性位移传感器发展十分迅速,光栅长度测量系统的分辨率达到纳米级,测量精度已达0.1um,已成为位移测量领域各工业化国家竞争的关键技术。它...