光栅平动式光调制器论文

基于MOEMS技术的光栅平动式光调制器阵列若干关键技术研究
论文摘要目前,在显示市场中,基于MOEMS（微光机电系统）技术制造的光调制器以其优良的性能获得高速的发展和广泛的应用。MOEMS光调制器作为显示设备的核心器件,成为带动显示技术...