光外差论文

论文摘要激光测距是一种目前使用很广泛的精密测量方式,最新的电容位移传感,X射线衍射干涉仪,以及扫描隧道显微镜,虽然精度很高,但测量距离很短,不适用于空间长作用距离的测量,而激光...