光学表面论文

光学表面等离子体加工机理研究
论文摘要随着光学领域及其相关技术的发展,尤其是短波段光学和强激光技术的发展,要求光学元件表面粗糙度小于lnm,并且无表面及亚表面的损伤。等离子体加工是目前能够获得超光滑表面的一...
光学零件表面轮廓干涉测量方法研究
论文摘要干涉测试技术以光波干涉原理为基础进行测试。与一般的光学测试技术相比,干涉测量技术具有更高的测试灵敏度和准确度,不会对被测件带来表面损伤和附加误差。剪切干涉是将待测波面和...