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氮化钛薄膜的制备及其光、电性能的研究
论文摘要氮化钛(TiNx)是过渡金属氮化物,它由离子键、金属键和共价键混合而成,它独特的电子结构所表现出高硬度、高熔点、化学稳定性高以及优良导电性能和红外波段较高光学反射率使它...
Ni-Mn-Ga-Gd合金薄膜的相变与光学反射特性
论文摘要本文利用磁控溅射技术在(100)取向单晶硅衬底上沉积了Ni-Mn-Ga-Gd合金薄膜。采用X射线衍射分析、能谱分析、扫描电子显微观察和原子力显微镜表面形貌分析等手段研究...