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用于光学聚焦的螺纹压电驱动器的制备与实验
论文摘要在当今社会,随着科学进步和社会发展,压电陶瓷驱动器(即超声波电机)在微纳技术、光学仪器、精密机械、生物医药、航空航天、汽车电子、半导体检测、国防武器等领域有着广泛应用。...