光学均匀性高精度测量论文

补偿法高精度光学非球面检测技术
论文摘要补偿法是高精度光学非球面检测的一种主要方法，本文针对补偿法检测非求面时必需解决的几个关键技术进行了研究，为高精度补偿器的设计与研制成为提供了有力的技术支持。补偿法检测非...