光学临近修正论文

静态随机存储器位单元与测试结构设计优化
论文摘要在摩尔定律的持续推动下,集成电路制造工艺的触角已经延伸至深亚微米领域,而作为逻辑工艺开发的重要辅助工具,嵌入式静态随机存储器(SRAM)以其极高的工艺缺陷覆盖率、可精确...