光学气敏传感器论文

WO3基气敏传感器薄膜材料的性质及应用研究
论文摘要微结构气敏传感器与电子鼻是近年来国际上传感器领域的研究热点,微结构气敏传感器是利用微电子、微机械加工和薄膜技术将加热测温电阻、测量电极和敏感薄膜集成一体的新一代气敏元件...