光学声子散射论文
压力下光学声子对应变纤锌矿AlN/GaN异质结中电子迁移率的影响
论文摘要本文采用将变分法与求解力平衡方程相结合的方法,在光学声子散射起主要作用温区,从理论上讨论在其散射下,应变纤锌矿AlN/GaN单异质结中电子的迁移率及其应变和压力效应.考...高k栅介质Ge MOS器件迁移率模型及制备工艺研究
论文摘要随着器件尺寸的不断缩小和电路集成度的不断提高,高k/多晶硅栅结构中的费米钉扎使得多晶硅不再是理想的栅电极。有研究称高k/金属栅结构不仅可以获得低栅薄层电阻、无耗尽的栅、...