光学显微干涉论文

论文摘要微结构几何量特征参数与其构成的器件的性能是密切相关的?随着科学技术的发展,越来越多的微器件是由微结构阵列来实现相应的功能的,阵列中每个功能单元的尺寸一般在亚毫米量级,但...