光学元件论文
一种新型超精密光学元件瑕疵检测装置开发
论文摘要精密光学元件表面质量的高低对激光系统的运行有极其重要的影响,目前对光学元件表面瑕疵的检测,多采用的是人眼观察的方法,此方法存在效率低,检测结果跟人的经验有直接的关系,存...小面型光学元件超精密测量误差分离技术研究
论文摘要随着非球面等光学元件在现代光学系统中的广泛应用,对光学元件的加工与检测都提出了更高的要求。接触式测量方法精度通常在微米、亚微米量级上,能满足检测精度要求,已成为当前光学...高功率固体激光驱动器光学元件位相误差研究
论文摘要随着惯性约束聚变研究的不断深入,高功率固体激光驱动器的输出能量、输出功率不断提高,为人类获取洁净能源奠定了坚实的基础。然而,在现实需求的牵引下,人们对高功率、高能量光束...曹明琛:平面光学元件抛光中沥青抛光胶材料特性研究论文
本文主要研究内容作者曹明琛,刘孟奇,赵凌宇,谢瑞清,赵惠英(2019)在《平面光学元件抛光中沥青抛光胶材料特性研究》一文中研究指出:化学机械抛光(CMP)是平面光学元件超精密加...