光照稳定性论文

SiCl4/H2为气源沉积多晶硅薄膜的电输运特性的研究
论文摘要多晶硅薄膜以其优异的光电性能和较低的制备成本,在能源信息工业中,日益成为一种非常重要的电子材料,被广泛应用于大规模集成电路和半导体分立器件。高效、稳定、廉价的多晶硅薄膜...