光致抗蚀剂论文

论文摘要光刻胶是电子信息产业中微细加工技术的关键性基础化工材料,光刻胶成膜树脂的改进是光刻胶开发的基础。传统的甲基丙烯酸酯类光刻胶由于分辨率不高,脆性较大,粘度大等缺点,限制了...