光致衰退性论文

MWECR CVD制备a-Si:H薄膜光稳定性研究
论文摘要由于非晶硅薄膜具有制备工艺简单、原材料价格低廉和可实现大面积大规模自动化批量生产及光敏性好等绝对优势,目前已得到越来越广泛地重视和应用。本论文主要是对MW-ECRCVD...