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表面等离子体激元在近场光刻及微纳波导中应用的初步理论研究
论文摘要表面等离子体激元因所具有的空间分布、等离子体激元共振以及非线性效应等特点,从而用途广泛。本文在数值模拟的基础上,对其在超分辨近场光刻和微纳波导中的应用做了分析说明。在保...