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飞秒激光在固体材料上制作微结构的研究
论文摘要本论文主要研究利用飞秒激光对固体材料进行微细加工及其在微结构制作中的应用。1.讨论了飞秒激光在宽带隙透明固体电介质中诱导的多光子电离、隧道电离和碰撞电离过程,以及飞秒激...