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基于微悬臂梁的生化传感技术研究
论文摘要在生物和化学领域中,生化传感器是进行各种实验研究的必要条件和工作基础。研制特异性强,灵敏度高,响应时间短的高性能传感器一直是人们追求的目标。近年来,伴随着微机电系统(M...