硅薄膜论文

新型纳米硅电极的构筑及嵌脱锂性能研究
论文摘要硅之所以能够作为新一代高容量、高功率锂离子电池的候选材料,是因为其具有高达4200mAh·g-1的理论比容量和较低的充放电电位。然而,嵌锂合金化与脱锂去合金化过程中伴随...
磁控溅射法沉积硅薄膜的研究
论文摘要太阳电池是一个朝阳产业,也是现在发展正非常火热的一个行业。非晶硅、微晶硅薄膜太阳电池在硅系太阳电池中具有很大的性价比优势。本文使用磁控溅射法沉积硅薄膜,通过优化薄膜沉积...
新型MEMS气体传感器研究
论文摘要目前,微电子机械技术由于得到集成电路工业的支持,其发展速度异常迅猛。微结构气体传感器已逐渐成为气体传感器领域的一种主要结构形式。用该技术制作的微结构气体传感器具有体积小...
玻璃基板上硅薄膜结构和性能的研究
论文摘要本文介绍了硅薄膜的发展状况、结构特点、性质以及应用,详细阐述了硅薄膜制备技术——化学气相沉积（CVD）方法的原理、特点和用途等,并简要概述镀膜玻璃的节能性能表征。模拟浮...