硅材料论文

激光作用下硅材料的热应力分析
论文摘要利用激光加工硅材料可以保证加工的精度和效率的同时大大提高加工的环保性,因此也日益为人们所重视和采用。当激光作用在硅材料表面时,加工经常会遇到硅材料热应力变形、损伤等问题...