硅衬底材料论文

硅衬底辐照损伤噪声测试样品研究
论文摘要硅半导体材料作为IC主要的衬底材料,对其性能及辐照损伤的研究已有五十多年的历史。随着微电子工艺的发展,对硅衬底材料提出了越来越高的要求。但现有的研究方法均存在一定的局限...