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基于飞秒激光技术的硅表面特性研究及光电器件制备
论文摘要飞秒激光的出现为激光与物质相互作用的研究创造了更多的实验条件,本论文中一方面利用近红外的飞秒激光与半导体硅及硅基材料的相互作用产生的二阶非线性效应,对硅及硅基材料表面的...