硅集成工艺论文

论文题目:射频集成磁膜微电感的制备与性能研究论文类型:博士论文论文专业:微电子学与固体电子学作者:刘锋导师:于军关键词:集成微电感,等效电路,铁氧体薄膜,高频性能,硅集成工艺文...