硅基定位平台论文

硅基集成式微型平面纳米级定位系统的研究
论文摘要面向微纳操作的微小型机器人作为一种典型的微机电装置,具有体积小、重量轻、能耗低、集成度高、能够进入一般机械系统无法进入的狭小作业空间进行检测和维护等特点,在微纳操作领域...