硅基发光薄膜论文

射频等离子体化学气相沉积制备硅基发光薄膜的过程和性能研究
论文摘要本文主要介绍了通过射频等离子体增强化学气相沉积法,利用SiHH4和Ar作为反应气体,在不同的射频功率条件下进行气相沉积反应,制备出具有良好多晶结构的硅基发光薄膜。并对薄...