硅基混合集成论文

硅基集成光栅耦合器及其偏振无关特性研究
论文摘要光栅的研究与应用有着悠久的历史。随着现代集成光学的发展,特别是硅基光电子学的发展,新型的微纳米级光栅器件由于其结构紧凑、功能多样、制作方便,在现代集成光学中占据了一个重...