硅晶片切割液论文

硅片切割液产品的开发研究
论文摘要硅片线切割工艺中悬浮液特性与切割质量有重要关系,悬浮液的制备是加工超光滑硅晶片的关键因素之一,它的性能直接决定最终的硅晶片表面质量。因此,研究出性能优良的切割液是非常必...