硅基微通道板论文

基于硅微通道板的新型三维传感器
论文摘要三维结构材料的制备和应用已经引起人们极大关注,而硅基三维结构材料更是因为具有与传统集成电路工艺的兼容性以及与体材料相比所具备的独特物理与化学特性,成为制备微型电化学传感...