硅刻蚀工艺论文

高深宽比微纳层次结构仿壁虎脚毛制作工艺研究
论文摘要自然界中壁虎具有非常优秀的吸附能力,可以自由行走在光滑的墙壁上,甚至是天花板上。壁虎脚毛的分级层次结构,尤其是高深宽比的微米级刚毛与纳米级绒毛结构,是保证其产生巨大粘附...