硅纳米线光波导论文

硅基纳米光波导与器件及光传感应用研究
论文摘要硅光子器件因为具备与成熟的CMOS制造工艺相兼容的巨大优势,而被认为是目前实现高性能、低成本和高集成度的片上光互联和片上实验室最可行的方案。本论文主要主要针对光传感以及...