硅氢薄膜论文

热丝化学气相沉积制备硅氢薄膜及其性质的研究
论文摘要目前,硅薄膜太阳能电池的研究已成为国际光伏领域研究热点。硅薄膜太阳能电池相对于单晶硅和多晶硅太阳能电池而言,具有耗材少,成本低的特点。尤其是廉价衬底的引入,使硅薄膜太阳...