硅外延论文

P型硅外延片工艺技术的研究
论文摘要21世纪的微电子技术仍将以硅为主流。硅外延材料为半导体硅器件特别是各类硅集成电路的发展提供了坚实、可靠的物质基础,支撑着当代微电子产业的持续发展。而外延材料的制造水平则...