硅微惯性器件论文

基于MEMS的捷联航姿系统初始对准技术研究
论文摘要硅微惯性器件是集微型精密机械、微电子学、半导体集成电路工艺等新技术于一身的世界前沿性新技术。本文将重点研究由硅微惯性传感器组成的微惯性航姿系统的初始对准问题。硅微陀螺仪...