硅微加速度传感器论文

硅微加速度传感器厚膜混合集成方案与工艺研究
论文摘要航空航天、武器装备等行业的不断发展,对硅微加速度传感器提出了更苛刻的要求:高可靠性、抗高过载、体积小、低功耗等等。在此背景下,本课题对厚膜混合集成硅微加速度传感器进行了...