硅微机械加速度计论文

硅微机械加速度计零位偏移的影响因素研究
论文摘要目前已受到国内外广泛关注的硅微机械加速度计,有许多极具诱惑力的特殊优点,但硅微机械系统普遍存在零位偏移大、启动时间过长、动态性能差的缺点,而由于其体积小,干扰因素多,直...