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硅微麦克风论文
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MEMS硅微麦克风的偏置电路及前置放大器的设计
论文摘要随着无线通信技术的迅猛发展,便携式产品得到了广泛应用,小型化、超薄化是这些设备的主要特点。与传统的驻极体电容式麦克风ECM相比,MEMS硅微麦克风具有可以精确控制器件的...