硅微桥论文

新型压阻式MEMS温度传感器的理论研究
论文摘要温度是最基本的物理量之一。随着社会的发展,在科学研究、工农业生产、日常生活等许多领域都涉及到温度的测量和温度传感器。由于MEMS传感器相较传统的传感器有体积小、功耗低、...
新型MEMS气体传感器研究
论文摘要目前,微电子机械技术由于得到集成电路工业的支持,其发展速度异常迅猛。微结构气体传感器已逐渐成为气体传感器领域的一种主要结构形式。用该技术制作的微结构气体传感器具有体积小...