硅微柔性铰链论文

V型电热硅微致动器性能及其应用研究
论文摘要微致动器是微机电系统（MicroElectroMechanicalSystem,MEMS）的重要组成部分,用于构成其中的驱动或执行单元,担负着微系统内能量转换、运动和力...