硅微陀螺仪论文

论文摘要在研磨精密球体的过程中,研磨轨迹的在线检测具有十分重要的意义。通过研磨轨迹的在线检测,研究人员可以了解精密球体研磨轨迹的包络性是否良好,精密球体是否得到高效研磨,这为研...

论文摘要硅微陀螺仪是近十几年发展起来的一种新型陀螺仪,它具有体积小、重量轻、成本低、可靠性高、数字化等一系列优点。因此,硅微陀螺仪在航空航天、地质勘探、医学、汽车工业以及机器人...

论文摘要惯性导航系统对陀螺仪精度的要求越来越高,因而对陀螺仪随机漂移的研究也显得越来越重要。作为新型陀螺仪的硅微陀螺仪,有着尺寸小、重量轻、成本低、功耗小、寿命长、可靠性高和动...

论文摘要硅微型振动陀螺仪是随着微电子技术和微机械加工技术的发展而研制出的一类新型角速率传感器。这类陀螺仪在工作时，用微幅振动代替高速旋转，从而使它可以具有体积小，重量轻以及成本...

论文题目:MEMS器件设计、封装工艺及应用研究论文类型:博士论文论文专业:物理电子学作者:关荣锋导师:黄德修,刘胜关键词:设计,封装工艺,压力传感器,硅微陀螺仪文献来源:华中科...