硅芯氧化论文

本文主要研究内容作者杨丞杰,张新红（2019）在《多晶硅生产质量控制探讨》一文中研究指出：在多晶硅还原生产过程中,影响产品质量的因素主要有:硅芯氧化、爆米花、停炉倒棒。围绕还原...