硅芯制备论文

本文主要研究内容作者王玉亮（2019）在《新型拉晶炉在硅芯制备中的应用》一文中研究指出：介绍了一种新型拉晶炉,采用直拉法拉制大直径硅棒,然后切割成方硅芯。该种拉晶炉一次性出硅芯...