硅锗碳论文

SiGeC/Si异质结快速软恢复功率二极管的研究
论文摘要论文将SiGeC/Si异质结技术用于功率二极管反向恢复特性的改进,首先研究分析了Si基应变材料的晶格结构,形成压应变和张应变的机理,尤其是C的引入导致SiGeC材料临界...