固结磨料金刚石线锯论文

金刚石线锯的复合电镀法制备及其性能研究
论文摘要在大尺寸半导体基片和功能晶体的切割中。固结磨料线锯以无可比拟的优点被认为是最好的切割方法之一。与现有的几种固结超硬磨粒的方法相比,电镀方式具有制造周期短和生产成本低等优...