固体潮论文

无衍射光光轴安装基础的误差研究
论文摘要直线度误差测量是一项基本的几何公差测量,将无衍射光技术,CCD成像技术和数字图像处理技术结合起来开发的无衍射光空间直线度测量仪适合于长短距离的直线度误差测量,为了进一步...