固有频率噪声论文

基于数字滤波技术的直线电机伺服控制系统设计
论文摘要激光直写设备作为衍射光学元件的重要加工设备,其加工精度决定了二元衍射光学器件的成像质量。随着光学技术的飞速发展,研究具有高精度的激光直写设备至关重要,同时又能推进超精密...