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铜基镶嵌结构界面金刚石膜及其膜/基结合力的研究
论文摘要当今微电子技术高速发展,传统的散热材料如Cu、Al及新型的散热材料如BeO、SiC、AlN,其热导率越来越不能满足发展的需要,因此新型散热材料的研制已成为发展电子器件的...