合金技术论文

金属/锗硅固相反应及其接触特性研究
论文摘要随着集成电路器件尺寸的持续缩小,短沟道效应等原因使得MOS器件性能的继续提高遇到了严峻的挑战,SiGe被引入到新型的器件结构中,通过在沟道中产生应变来提高沟道载流子的迁...