横向高压功率器件论文

SOI横向高压低通态电阻MOS型器件研究
论文摘要随着SOI技术不断发展成熟,SOI高压集成电路因其隔离性能好、漏电流小、速度快、高温性能好和抗辐照等优点已成为功率集成电路的重要发展方向。MOS型功率器件由于良好的栅控...